和后世相同的点在于，有阿美利肯资本主导，ASML、台积电和英特尔这三家厂商联合在了一起，推动光刻机的研发，缺少林本坚这一灵魂人物，他们的技术路线依然是干式光刻机。

周新在回华国的飞行途中，对于这个问题进行了深度的思考。

浸没式光刻机从技术上来说只是简单的一句话，但是落地中间实际上还是有大量的技术研发工作要做，并不是说我加一层液体在中间这么简单。

从干式光刻机到浸没式光