望既能保证新芯光刻机在商业领域的竞争力，又能逐渐推动国产产业链的完善。

蔡司的拒绝给了他们当头一棒，之前一直认为蔡司会因为在浸润式光刻机上的成功，继续和新芯保持euv领域的合作。

50亿元的光刻机研发基金也是基于这样的考量，因为如果要靠新芯自己搞定物镜系统，50亿rb是远远不够的。

而且蔡司的拒绝是纯商业行为，人家还有充分的理由，蔡司加入euv&nbp;已经接近十年时