项目资金和执行计划的时候，张晴看得懂的地方开始变多了。

“项目预计总投资十亿，分三期投入，

初期投入资金一亿，主要用于研制半导体级单晶硅提纯设备（单晶炉），并实现11个9纯度的单晶硅量产。

中期投资6亿，主要用于研制倒角机、多线切割机、化学机械抛光机，实现12寸硅片量产。

后期投资4亿，主要用于成立硅片生产设备制造基地，实现硅片制造设备的稳定生产和销售。”