计划归计划，该拆的设备还是得拆。不过康驰也不用把它拆得非常零散，只需要把几个模块给分开就行了。反正这玩意拆了外壳，谁也不认不出是什么东西。由于工作量比较大，康驰只能在东阳又多停留了一周，同时在拆解休息的时候，他还抽空看了看常春光所的EUV设计图，把图纸都给吃透得差不多了。在光刻机的EUV光源中，有两个相对成熟可靠的方案，即DPP和LPP方案。这两个方案，其实原理都是差不多的，就是利用锡转换