也是非常的苛刻，平整度、温度、安装精度缺一不可。瑞达电子厂斥巨资打造这四个电子级无尘车间，主要就是为了这两种设备服务。 王成业院士捧着一本足有砖头厚的英文原版安装说明书，一边翻看，一边感叹道：“啧啧啧，不愧是当前世界最先进的DUV光刻机，只是安装说明书，就有上千页，看着就让人头大。” 林梦松也跟着附和道：“谁说不是呢，越高端的设备越是娇贵，就拿这台光刻机